真空脫氣過程中，關于是用油泵脫氣還是用分子泵脫氣，雖然說油泵可能標的這個極限真空可能是到什么零點零幾個帕或者0.1帕以下，但實際上呢，樣品處的壓力其實它只能到幾個帕的量級。對于一些微孔材料，脫氣壓力只到了幾個帕的話，其實是比較難脫干凈的。市面上的這種脫氣裝置的話，其實絕大多數都是油泵脫氣，有一部分研究人員其實他已經很清楚這一塊的差異，他會專門給自己的脫氣機配上分子泵，但是只要加上分子泵組的脫氣機，價格基本得到20萬這個量級了。BSD-660S的儀器是油泵脫氣的，BSD-660M的儀器是分子泵脫氣，在監測壓力的狀態下，實現分子泵的原位脫氣，可以獲得一個高的真空，而且脫完氣之后，可以直接進入接觸吸附質的吸附過程，就是完全避免回填氣體的影響。關于用油泵脫氣跟分子泵脫氣的區別。